当前位置:网站首页 > 产品中心 > 尼康步进光刻机 > NSR1505g4D光刻机

NSR1505g4D光刻机

  

NSR1505g4D主要用于CD线宽不超过0.75μm器件的生产。

主要技术指标

分辨率

0.75μm

Resolution

0.75

N.A.

0.45

N.A.

0.45

曝光光源

436nm

Exposure light source

436nm

倍率

1:5

Magnification

1:5

最大曝光市场

15mmX15mm

Maximum Exposure area

15mmX15mm

对准精度

180nm

Alignment accuracy

180nm

 提供3”、4”、5”、6”、设备改造。

 

常年提供所有备件、耗材。

 

更多型号设备欢迎致电或浏览我们的网站。