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NSR1505g6E 光刻机

 

NSR1505g6E主要用于CD线宽不超过0.65μm器件的生产。

主要技术指标

分辨率

0.65μm

Resolution

0.65μm

N.A.

0.54

N.A.

0.54

曝光光源

436nm

Exposure light source

436nm

倍率

1:5

Magnification

1:5

最大曝光市场

15mmX15mm

Maximum Exposure area

15mmX15mm

对准精度

140nm

Alignment accuracy

140nm

提供3”、4”、5”、6”、设备改造。

常年提供所有备件、耗材。

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