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NSR2005i11D光刻机

NSR2005i11D主要用于CD线宽不超过0.35μm器件的生产。

主要技术指标

分辨率

0.35μm

Resolution

0.35μm

N.A.

0.57

N.A.

0.57

曝光光源

365nm

Exposure light source

365nm

倍率

1:5

Magnification

1:5

最大曝光市场

22mmX22mm

Maximum Exposure area

22mmX22mm

对准精度

70nm

Alignment accuracy

70nm

提供5”、5”、6”、8”、设备改造。

常年提供所有备件、耗材。

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