当前位置:网站首页 > 产品中心 > 尼康步进光刻机 > NSR2205EX14光刻机

NSR2205EX14光刻机

主要技术指标

分辨率

0.25μm

Resolution

0.25μm

N.A.

0.6

N.A.

0.6

曝光光源

248nm

Exposure light source

248nm

倍率

1:5

Magnification

1:5

最大曝光市场

22mmX25.2mm

Maximum Exposure area

22mmX25.2mm

对准精度

50nm

Alignment accuracy

50nm

提供4”、5”、6”、8”、设备改造。

常年提供所有备件、耗材。

更多型号设备欢迎致电或浏览我们的网站。