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ZJT-601衬底检测设备

      ZJT-601 用于 IC LED 衬底片的质量检测。用来精密检测衬底片的平整度、翘曲度以及厚度等指标,并按照用户设定的数值进行自动分选的设备。 该设备具有衬底片自动传输系统、定位,高精度扫描运动系统,精度检测系统,数据处理以及故障显示报警等先进功能。 该设备采用不接触的逐片扫描检测,并能按照检测结果将衬底片自动传输到定义的片盒内,为用户进行精细化生产提供依据,从而提高用户产品的良率、效率和产品一致性,为用户创造价值。


技术指标

片子尺寸

2inch--6inch

特点

用户化设定, 全自动,高精度,高效率。

片盒装/卸模式

手动

测量项目

LTV         <0.15um(重复性)

TTV         <0.15um(重复性)

Thickness     <0.1um(重复性)

BOW         <0.1um(重复性)

warp        <0.5um(重复性)

C- Thickness   <0.15um(重复性)

TIR         <0.15um(重复性)

工作效率

>220 /小时(2 英寸基片,2.5mm 阵列)

>220 /小时(4 英寸基片,5mm 阵列)

>180 /小时(6 英寸基片,10mm 阵列)

检测精度

<0.1um

检测方式

连续扫描

片盒数量

5 盒,1 盒供片,4 盒分选(或根据用户要求设置)

安全模式

残留片处理(检测舱内.机械臂上.定心台上) 片盒未装提示

真空错误

运行过程位置、时序错误

手动紧急停止、暂停

锁屏功能 报警

记录查询

操作方式:

操作员、工程师、管理员

最小步距

<0.05mm

检测传感器

德国 PRECITEC 公司光学传感器检测(长寿命 LED 光源)

边缘要求

非接触

校准

自动校准

数据查询

按批次、按日期查询每个衬底片对应的数据图

每个衬底片的数据导出 excel 格式