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TEL CLEAN TRACK ACT8

功能及适用范围


适用于150到200mm的各种材料的工艺处理I线,248纳米,和193纳米的工艺能力

全自动的匀胶、显影功能,层叠架构

多层热处理模块,结构紧凑,高产能、高可靠性